中國科學家創(chuàng)新增材制造方法 碳化硅反射鏡性能獲大提升
中新網(wǎng)長春4月13日電 (記者 郭佳)中國科學家創(chuàng)新提出“石墨/碳化硅復合粉末增材制造方法”,將碳化硅反射鏡中的碳化硅含量大幅提升18.18%,并實現(xiàn)高精度鏡體制備。這是記者13日從中國科學院長春光學精密機械與物理研究所獲悉的最新突破。
碳化硅反射鏡在高端光學系統(tǒng)中作用關鍵,但傳統(tǒng)增材制造過程中面臨著碳化硅顆粒流動性差與游離硅物相調控難的雙重瓶頸。該所光學系統(tǒng)先進制造全國重點實驗室張舸研究員團隊與中國科學院空間應用工程與技術中心王功研究員團隊合作,利用石墨兼具固體潤滑與促進反應的雙重功效,一舉突破兩大技術瓶頸。
實驗數(shù)據(jù)顯示,采用該方法后,鏡體中碳化硅含量由46.36%提升至64.54%。團隊成功制備出直徑220毫米的拓撲結構碳化硅鏡體,全鏈路尺寸變形量控制在0.5%以內,經(jīng)加工后光學表面面形精度優(yōu)于λ/50 RMS(λ=632.8 nm),表面粗糙度僅為0.772 nm。(完)
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